反应离子刻蚀机是一种用于信息科学与系统科学、材料科学领域的工艺试验仪器，它利用射频电源在上下电极间产生辉光放电，使反应气体分子被电离生成等离子体，然后通过化学和物理反应来移除衬底表面的材料。
反应离子刻蚀机具有以下特点：
反应离子刻蚀机在微纳加工领域有着广泛的应用，如制备微型传感器、微型马达、微型光学器件等。它可以实现高度各向异性的刻蚀，即沿垂直方向刻蚀速率远大于沿水平方向刻蚀速率，从而保证了图形的精确转移和高方面比。
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