FIB聚焦离子束加工技术简介FIB(Focused Ion Beam)聚焦离子束加工技术是一种利用高能离子束进行纳米尺度加工和分析的先进技术。它结合了离子束刻蚀和扫描电子显微镜(SEM)成像的功能,可广泛应用于材料科学、电子器件制造、生物医学和纳米器件研究等领域。下面将对FIB聚焦离子束加工技术进行详细介绍。
原理和设备: FIB聚焦离子束加工技术基于高能离子束与材料的相互作用。加速器产生的离子束通过光学透镜系统的聚焦,将离子束的能量聚集到纳米尺度的小区域内。离子束可以通过改变聚焦强度和扫描方式来实现局部材料加工和成像。